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產(chǎn)品分類： UVW相位臺(tái)
產(chǎn)品名稱：相位臺(tái)：WNUVW01-250RS

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產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特征：
1. 采用了劃時(shí)代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺(tái)
在底座、工作臺(tái)之間裝上組合了滑臺(tái)組和特殊交叉滾柱軸承，實(shí)現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。
2. 高剛性、高精度
高品質(zhì)精磨級(jí)滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，小導(dǎo)程，相同細(xì)分可達(dá)到高的分辨率級(jí)高的重復(fù)定位精度。
3. 超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu)
中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y(cè)試器使用
4 .潤(rùn)滑系統(tǒng)
在各種運(yùn)動(dòng)軌道加入潤(rùn)滑系統(tǒng)，提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度。
5. 產(chǎn)品整體機(jī)構(gòu)薄且輕，內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，可實(shí)現(xiàn)同時(shí)進(jìn)行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉(zhuǎn)?？蓪?shí)現(xiàn)任意位置再運(yùn)動(dòng)。
6. 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命
產(chǎn)品應(yīng)用:
1. 面板貼膜
2. 3D網(wǎng)版印刷
3.玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備
4. Wafe對(duì)位設(shè)備
5.P.C.D曝光設(shè)備
6. 軟體裁切設(shè)備
7. 半導(dǎo)體設(shè)備

型號(hào)		WNUVW250RS
結(jié)構(gòu)描述	臺(tái)面尺寸（mm）	250X250
	底板尺寸（mm）	350X350
	高度（mm）	90
	行程（mm）	±5
	角度（θ）	±3°
	主體材料	鋁合金
	表面處理	陽(yáng)極氧化發(fā)黑
	電機(jī)	42步進(jìn)電機(jī)
精度描述	螺桿規(guī)格	φ10-P2
	水平承載（Kg）	100
	重復(fù)定位精度（μm）	±2
	平行度（μm）	25