☉采用了劃時代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺:在底座、工作臺之間裝上組合了滑臺組和特殊交叉滾柱軸承，實現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。

☉高剛性、高精度:高品質(zhì)精磨級滾珠絲杠驅(qū)動，小導(dǎo)程，相同細(xì)分可達(dá)到高的分辨率級高的重復(fù)定位精度。

☉超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu):中空結(jié)構(gòu)設(shè)計,可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試器使用

☉潤滑系統(tǒng):在各種運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度。

☉產(chǎn)品整體機(jī)構(gòu)薄且輕，內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn)同時進(jìn)行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉(zhuǎn)?？蓪崿F(xiàn)任意位置再運動。

☉材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命

產(chǎn)品應(yīng)用:

☉面板貼膜

☉3D網(wǎng)版印刷

☉玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備

☉Wafe對位設(shè)備

☉P.C.D 曝光設(shè)備

☉軟體裁切設(shè)備

☉半導(dǎo)體設(shè)備